这里我们介绍一种化学机械研磨机载具膜预防保养方法，包括下列步骤：(a)一化学机械研磨机上，其具有一研磨主轴、可拆装地设置于该研磨主轴上一研磨具，其该研磨载具具有数个抽气孔、一可拆装导环以及一载具膜，用激光预先加工所述载具膜上与该抽气孔对应数个孔洞；(b)当该化学机械研磨机需预防保养时，将该研磨载具从该研磨主轴上拆下；(c)将该导环从该研磨载具拆下且去除原有载具膜后，对该研磨载具进行清洁处理；(d)将新载具膜与对孔板对准，其该对孔板上具有与该抽气孔对应数个销孔，且每一销孔上设有一固定销，当该载具膜与该对孔板对准时，每一固定销穿过该孔洞；(e)将该载具膜与该对孔板一起放置该研磨载具上，使每一固定销依序穿过对应孔洞、抽气孔；(f)将该载具膜粘贴该研磨载具上，且移去该对孔板；以及(g)将该导环安装至该研磨载具后，将该研磨载具安装至该研磨主轴上。